真空係（xì）統要求獲（huò）得並保持真空狀態，如果存在嚴重的漏氣則是係（xì）統的重大缺陷（xiàn），那（nà）麽就需要進行相關的真空檢漏。

  透氣和漏氣的本質不同。透氣是氣體從密（mì）度大的一側向密度小的一側滲入、擴散、通（tōng）過和逸出的過程（chéng），任何材料都有一定的滲透率。漏（lòu）氣（qì）是由於（yú）材料本身的缺（quē）陷或封口（kǒu）部不良，導致氣（qì）體分子從高壓側（cè）流向低壓（yā）側的現象。還有一種情況是常溫（wēn）下不發生漏氣，但（dàn）溫度（dù）變（biàn）化時由熱膨脹係數的（de）差異也可能導致漏氣。圖（tú）1是影響（xiǎng）係統真空度的氣體（tǐ）來源（yuán）示意圖。

  嚴格（gé）地講，任何真空係統都（dōu）有漏氣現象存在，漏氣是絕對的。針對不同的真空係統，可以容（róng）許（xǔ）有一定的漏（lòu）率。目前的真空技術，可以（yǐ）確保超高真空係統的容許漏率≤1.33×10 -11 Pa.m3/s。

  真空檢漏已經成為真空係統製（zhì）作和（hé）使（shǐ）用中不可（kě）缺少（shǎo）的環節。真空檢漏（lòu）的（de）方法多種多樣，具代表性的氦質譜檢漏（lòu）和四極質譜儀殘留氣體分析。